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新闻动态

真空科学与技术的一些前沿课题
发布时间:2020/4/7 14:18:21

真空产品生产厂家、真空行业的科技工作者每时每刻都应该掌握自己工作领域内最近、最新的学术动态,研究自己工作范围内的前沿课题,以便给自己定位,确定自己的对策,找出自己前进的方向,积极参加市场竞争bob手机版,不断改革创新,才能立于不败之地。尤其是我国加入WTO之后,真空科技工作者的目光应该更远大bob手机版bob手机版,获取科技信息就显得更为重要,它是企业存在的保障,是科技工作者的生命线。

 

1bob手机版、真空泵

 

真空泵的种类很多,可按下表进行分类。

 06.jpg

真空泵的前沿课题主要有:①号称21世纪绿色真空泵的各种无油泵(干泵)的研制;②喷射泵、扩散泵的理论研究与设计计算;③探索创新泵的工作原理,研制新型泵。

 

2、真空计量

 

  真空计量目前研究的主要内容有:

 

 、僬婵斩(全压力)测量与校准;

 、谡婵罩势追治鯾ob手机版,分压力的测量与校准;

 、燮逦⒘髁(漏率)的测量与校准;

 、懿牧戏牌实牟饬;

 、菡婵毡贸樗俨饬。

 

真空计量研究的前沿课题可归纳为:

 

 、傺芯糠瞧胶馓肿恿骼砺踒ob手机版,非平衡态分子流校准系统bob手机版,超音速分子流校准系统,为空间真空测量和校准解决难题;

 ob手机版、谘芯课⑿÷┢什饬、校准技术;

 、垩芯拷饩黾哒婵盏牟饬、校准问题,寻找新的测量理论bob手机版;

 、苎芯坎牧衔⒘糠牌什饬坑敕牌煞址治黾际

 、菅芯拷饩隼┥⒈梅涤吐实牟饬课侍,寻找新的测量方法。

 

3bob手机版、真空镀膜

 

  真空镀膜是真空科学技术领域中最活跃的一门应用技术,它涉及到镀膜设备、工艺、膜材、靶材等诸多方面,薄膜的种类很多,这里只能简单论述其中的一部分。

 

3.1、硬质薄膜

 

  自然界中金刚石最硬,立方氮化硼第二,碳化硼第三bob手机版bob手机版。

 

 、俳鸶帐(CVD法生产): 热丝CVD法金刚石膜沉积速率可达 2.5μm/hbob手机版,HV40~50GPabob手机版bob手机版;

 、贐4C 碳化硼:用磁控溅射法生产,高温热稳定性好,1100℃以上,它是最硬材料,HV50.4gPa;

 、鄹春夏ぃ篢iN-第1代;TiCN、TiAlN--第二代; 第三代是多组元复合膜和多层膜体系;TiN/TiCN、TiN/NbN、TiN/TiAlN、TiN/CrN、TaN/NbN(氮化钽/氮化铌),HV55.6GPa,发展成多层纳米梯度膜- TiAl、TiAl1、TiAl2、ZrN(氮化锆)。发展方向:提高膜的韧性、耐磨性、耐热性、耐蚀性。

 

3.2bob手机版、金刚石涂层刀具

 07.jpg

研究方向:①提高金刚石涂层与基体之间附着力,设计中间过渡层,开发多涂层刀具; ②增大沉积面积,提高生长速率; ③研究PVD法金刚石涂层理论和工艺。

 

3.3、光、电、 磁各种功能膜

 

  这些功能膜种类繁多,性能各异,这里仅举部分例证。

 

 bob手机版、俜⒐獗∧ぃ篩2O3:Eu(尿素D溶液法)Eu(射频溅射法);

 、诶涔饽- 可见光区高反射,红外光区高透射,实现冷光照射,达到;け徽瘴锬康;

 ob手机版、塾谢獾绫∧ぃ航鹗籼寄ぃ篊uPc-PbPc;CuPc/ZnS; 酞菁氧钛具有极高光敏系数;

 bob手机版、芄獾绻δ芨春夏- Ag-Au-SiO2bob手机版,Ag-BaO,Ag-SiO2,Ag-MgF2,其中Ag-MgF2纳米金属陶瓷薄膜具有光吸收特性bob手机版,Ag-BaO具有光电发射特性bob手机版;

 、萃该鞯嫉缒ぃ篒TO(In2O3:Sn),ZAO(ZnO:Al),IMO(In2O3:Mo);

 、薰庵卤渖∧ぃ18烷基取代螺吡喃薄膜(SP-18),在紫外光照下变色,在可见光照下恢复无色,可用于光信息存储、光控开关等;

 、叽殴饧锹急∧ぃ篜bFeCo(铅铁钴);

 bob手机版、喑蠊婺<傻缏(VLSI): 在Si基片上溅射Cu或Albob手机版,实现多层布线;

 bob手机版、岚氲继迥ぃ篠iCbob手机版、ZnO;

 、馄渌獾绱诺忍匦怨δ苣ぃ

 

  LiF、CaF2用于平面型场发射显示器;

  Fe/Cr多层膜有巨磁电阻(GMR) ;

  Fe=SiO2膜具有隧道磁电阻效应(TMR);

  TiO2膜具有优良的介电bob手机版、压电、气敏和光催化功能;

  Cu-SCN-Al(有机络和物)有极性记忆效应;

  三乙胺- 四氰-P-醌二甲烷(TEA(TCNQ)2)单晶是一种可以用来进行高密度信息存储的有机复合材料;

  YBCO属高温超导(HTS)膜。

 

3.4bob手机版、装饰膜

 

  研究方向:①对薄膜材料的研究正向复合化bob手机版、 多种类、高性能、新工艺方向发展②研究复合膜的设计bob手机版、性能检测、制备方法; ③研究薄膜应力( 牢固度) ;④研究大面积靶材制作技术,提高靶材利用率。

 

3.5、前沿课题

 

 、俜⑾志哂行绿匦缘男碌哪げ悴牧;

 

 、谏杓凭哂刑厥夤δ艿男碌哪は(复合膜);

 

 、鄯⒄垢呖萍疾,例如集成电路产业bob手机版,信息存储产业,平面显示器产业,包括液晶显示器(LCD),等离子体显示器(PDP), 场致发射显示器(EL);

 

 、苌钊肽げ憬峁褂胩匦怨叵档壤砺垩芯。


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